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在過去相當長一段時期，由于受到西方國家的禁運限制，我國進口國外超精密機床嚴重受限。但當1998年我國自己的數控超精密機床研制成功后，西方國家馬上對我國開禁，我國現在已經進口了多臺超精密機床。

我國北京機床研究所、航空精密機械研究所(航空303)、哈爾濱工業大學、國防科技大學等單位現在已能生產若干種超精密數控金剛石機床。

北京機床研究所是國內進行超精密加工技術研究的主要單位之一，研制出了多種不同類型的超精密機床、部件和相關的高精度測試儀器等，如精度達0.025μm的精密軸承、jcs—027超精密車床、jcs—031超精密銑床、jcs—035超精密車床、超精密車床數控系統、復印機感光鼓加工機床、紅外大功率激光反射鏡、超精密振動-位移測微儀等，達到了國內領先、國際先進水平。

nam-800 型納米數控車床是北京機床研究所最新一代的納米級加工機床。它是當今數控技術、伺服技術、機械制造技術完美的統一。該機床為我國最前沿的科技發展提供了良好的加工手段。

航空精密機械研究所在超精密主軸、花崗巖坐標測量機等方面進行了深入研究及產品生產。哈爾濱工業大學在金剛石超精密切削、金剛石刀具晶體定向和刃磨、金剛石微粉砂輪電解在線修整技術等方面進行了卓有成效的研究。

清華大學在集成電路超精密加工設備、磁盤加工及檢測設備、微位移工作臺、超精密砂帶磨削和研拋、金剛石微粉砂輪超精密磨削、非圓截面超精密切削等方面進行了深入研究，并有相應產品問世。

此外， 中科院長春光學精密機械與物理研究所、華中理工大學、沈陽第一機床廠、成都工具研究所、國防科技大學等都進行了這一領域的研究， 成績顯著。

但總的來說， 我國在超精密加工機床的效率、精度、可靠性， 特別是規格(大尺寸) 和技術配套性方面與國外相比， 與生產實際要求相比， 還有相當大的差距。另外，復雜曲面的精密加工也一直是我國制造業發展的壁壘，而制造業的發展關系著國家經濟的長遠發展問題，仍需投入大量的研究。